控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

大功率

≤1200W

大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  （大可安装φ50基底）

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  

数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）

分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）