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该等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
| 供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
| 工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
| 射频电源功率 | 150W |
| 射频频率 | 13.56MHz |
| 频率偏移量 | ＜0.2MHz |
| 特性阻抗 | 50欧姆，手动匹配 |
| 耦合方式 | 电容耦合 |
| 真空度 | ≤100Pa |
| 腔体材质 | 高纯石英 |
| 腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) |
| 观察窗内径 | Φ65 |
| 气体流量 | 10—100ml/min（其他量程可选） |
| 过程控制 | 过程手动控制 |
| 清洗时间 | 手动开关 |
| 开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
| 外形尺寸 | 400x380x360mm |
| 重量 | 23Kg |
| 真空室温度 | 小于65°C |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 |
