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在不同的蒸发速率下沉积300nm的Au薄膜,研究蒸发速率对薄膜表面形貌和性能的影响。随着蒸发速率的提高,薄膜的结构变得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度减小。金薄膜方阻随着蒸发速率提高无明显变化,而方阻均匀性变差,但在可接受的范围内。但蒸发速率过高会引起金属大颗粒增多。因此,选用适合的蒸发速率对Au膜质量有很大影响。
高纯度金靶材
应用域：
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛，通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
高纯度金靶材磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数；
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 溅射电源 | 直流溅射电源 |
| 镀膜功能 | 0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 功率 | ≤1000W |
| 输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
| 真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 溅射真空 | ≤30Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
| 真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
