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微间距的叉指电是一种为常用的微间距电结构，它被广泛的应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多个域。 一般来说，不同的应用域对于叉指电的形状、几何学尺寸、加工工艺、材料的选择、建模分析、系统集成以及数据的分析都有不同的要求，因此对于不同的域我们应该区分对待。如图所示，列出了几种常见的叉指电结构，基本的结构有圆形、矩形等，而每条叉指的形状除简单的矩形外，也可有圆形或矩形突起。在这里，我们要根据环境监测的具体要求，针对叉指电的结构形状进行分析说明和终的结构选择，确定具体的设计参数根据微弱信号检测的相关原理，在低频信号测量时，电阻值越高，其相应的电阻热噪声和闪烁噪声也就越高，不利于信号的提取和检测[1]。所以，可以通过减少敏感膜电阻值的方法，实现对气体敏感传感器的信号噪声比的提高，从而减小噪声对测量信号的干扰。根据电阻的计算公式，影响阻值变化的因素主要有电阻率、电阻长度及横截面积等。一般情况下，气体敏感材料薄膜的电阻率较高，因此减小敏感膜电阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的宽长比。但是，敏感膜的厚度太大会降低气体敏感传感器的响应时间。因此，综合考虑到响应时间和信噪比，需要设计优化气体敏感传感器中微电的厚度和长宽比。
叉指电真空探针台技术参数；
| 真空腔体 | |
| 类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 腔体内尺寸 | φ90x40mm |
| 腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
| 腔体抽气口 | KF16 |
| 腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
| 腔体出气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
| 腔体正压 | ≤0.05MPa |
| 腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
| 样品台 | |
| 样品台材质 | 304不锈钢 |
| 样品台尺寸 | 26X26mm |
| 样品台-视窗 距离 | 30mm（可选凹视窗间距15mm） |
| 样品台测温传感器 | A PT100铂电阻 |
| 样品台温度 | 室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
| 样品台测温误差 | ±0.2℃ |
| 样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 大值 |
| 温控仪 | |
| 温度显示 | 7寸人机界面 |
| 温控类型 | 标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
| 温度分辨率 | 0.1℃ |
| 温控精度 | ±0.5℃ |
| 温度信号输入类型 | PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
| 温控输出 | 直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
| 辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
| 探针 | |
| 电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
| 探针数量 | 4探针（可定做6探针） |
| 探针材质 | 镀金钨针 |
| 探针尖 | 10μm |
| 探针移动平台 | |
| X轴移动行程 | 12mm ±6mm |
| X轴控制精度 | ≤5μm |
| Y轴移动行程 | 12mm ±6mm |
| Y轴控制精度 | ≤5μm |
| Z轴移动行程 | 12mm ±6mm |
| Z轴控制精度 | ≤5μm |
| 数码显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜放大+电子放大 |
| 显微镜放大倍数 | 100倍 |
| 显微镜工作间距 | 50-150mm |
| 相机分辨率 | 1080P 60帧 |
| 相机信号输出 | HDMI输出+USB输出 |
| LED可调光源 | LED光源 |
| 显示屏 | 5寸 屏幕一体机 |
