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通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史悠久的PVD镀膜技术。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。
★ 玻璃钟罩真空腔室，直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★ 复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
★ 两组水冷式蒸发电，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★ 业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 
115A 100 机械泵
115A 100 分子泵抽12分钟 
115A 120 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面式小型蒸镀仪KT-Z1650CVD
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
| 加热方式 | 数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 | 0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 大功率 | ≤1200W |
| 大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
| 真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 （大可安装φ50基底） |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
| 蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
| 支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 | 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
