高纯水设备，作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用高纯水。

高纯水设备性能优势：

1、可连续，稳定地生产高品质纯水，无需因树脂再生而停机；

2、无污染物排放，既环保又省去了废液处理的投资；

3、设备结构紧凑，占地面积小，节省空间，同时还具有节能优点；

4、出厂完成装置调试，现场工作量小，上岗培训容易；

5、日常保养，操作简单，劳动强度低。

6、脱盐率大于99.9%，效率远远高于两反渗透和单纯的离子交换

目制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
　　1、种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
　　3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目制取超纯水***经济，***环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。