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探针台手动测试晶圆忆阻器失效分析IV测试光电流测试Mapping架探针座

点击次数:18 发布时间:2023/2/15 10:11:43
 济南创谱仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高科技企业。目公司的手动探针台、光学隔振平台、光学积分球、电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。 创谱仪器主要生产经营:光源(氙灯/光催化氙灯光源,卤钨灯光源,氘灯,汞灯,多波长可调光源,激光器)、分光单色仪、光学积分球、光电探测器、数据采集器、光谱测量系统、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。 
  我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意创谱仪器的产品及服务,就是我们的成就。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好各方面质量,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到的产品,这是我们对您选择创谱仪器真诚的回报。 
  济南创谱仪器始终以满足用户需求为宗旨,分别于北京、 深圳设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、产品、有效服务” 是我们的经营理念, 公司比较重视有效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。济南创谱仪器真诚的希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。
产品信息:

在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;    

创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比

技术参数:

◆模块化设计,可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率3μm,样品XYZR四维调节    

◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试

◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降

◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)

◆探针采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计

◆1微米以上电/PAD使用

◆加宽探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等

原创作者:济南创谱仪器有限公司

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