◆主体材质采用航空铝合金，表面喷砂氧化，良好的机械性能，高强度，耐磨

◆位移部分采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性

◆整体驱动采用进口高分辨率差动微分头，分辨率高达0.5μm

◆匹配多功能调节夹具，可以180°旋转+精密60°定向倾斜，适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野

◆底部超强可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附10Kg，保证了扎针稳定性

◆可以升真空吸附，搭配真空泵，7L/min

技术参数：

◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°旋转+精密60°角度倾斜（可锁紧）

◆整体结构外形尺寸：300mm×82mm×120mm（LWH）

◆探针位移精度：0.5μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头、N型、SMA等

            进口三同轴线缆可选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：≤1400V

◆适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等