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产品展示

Horiba Z512高品质数字式质量流量控制器 Z524流量计

点击次数:161发布时间:2023/3/22 9:20:17

Horiba Z512高品质数字式质量流量控制器 Z524流量计

更新日期:2023/3/22 9:20:17

所 在 地:中国大陆

产品型号:Z512

品牌名称:horiba

简单介绍:Horiba Z512高品质数字式质量流量控制器Z524流量计日本horiba Z514、Z524数字式质量流量控制器属于高性能数字式质量流量控制器SEC-500X系列,多用于半导体设备中畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SE

相关标签:horiba Z512 Z524 

优质供应

详细内容

Horiba品牌质量流量计、质量流量控制器,货期短,售后业。

Horiba Z512高品质数字式质量流量控制器Z524流量计

畅销型号: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGMSEC-Z512SEC-Z522

可选低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGM

可选低成本模拟型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3

国内组装模拟型:Horiba S48 28horiba S48 32S300

国内组装数字型:S600 BR212S600 BR222S600 BM212S600 BM222S600 BR226S600 BM226S600 CR212S600 CR222S600 CR226S500BR212S500BM212      

产品概述

日本horiba Z514Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列,高性能数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVDMOCVD中,国内多回收、二次销售,我公司提供原装进口Z514Z524,保修期1年。
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产品实物

产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)

 SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封)PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)
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订购注意:

 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。

产品参数

规格-数字-模拟转换模式 

 

型号*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全标准流量
(N2 转换流量)

1/2SCCM


10SCCM-10SLPM

10-50SLM

阀门类型

O: 通常打开 C: 通常关闭

完全关闭控制阀时的流量

≤ 2% F.S.

流量测量范围

0-100% of F.S.

 

精确性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作温度

5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)

响应

≤ 1 :超过全流量范围

直线性

≤ ±0.5% F.S.

反复性

≤ ±0.2% F.S.

工作压差值

≤ 300 kPa (d)

zui大工作压力

450 kPa (g)

耐压

1000 kPa (g)

外部泄漏率

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高

流量输出信号

0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高

数字界面

地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)

F-Net 协议,DevceNet

接液部材质

316L 不锈钢(表面抛光)

电源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信号反应

模拟: D-Sub 9-pin (TOP)

数字: 2 LAN jacks (TOP)

 

标准接头*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可选1.125 inch IGS

安装方向

自由

 

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。

订购注意:

 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。

如是设备备件的更换,请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。

 

horiba,Z512,Z524

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本公司同时提供美国AALBORG
、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器

进口数字型号: SEC-Z514MGXSEC-Z524MGMSEC-Z534MGSEC-Z516MG

进口低成本数字型:SEC-N112MGMSEC-N114MGMSEC-N116MGMSEC-N122MGMSEC-N132MGMSEC-N142MGMSEC-N176MGM

进口低成本模拟型:SEC-E40SEC-E50SEC-E60SEC-E40MK3SEC-E40VSEC-E50Vkolfoc 3760GFC17SGFC37SGFM47SGFC57SGFC67SGFC77Somega FMA1815S

国内组装模拟型:Horiba S48 28horiba S48 32

国内组装数字型:S600 BR212S600 BR222S600 BM212S600 BM222S600 BR226S600 BM226S600 CR212S600 CR222S600 CR226S500BR212S500BM212

Horiba液体流量控制器LV-F20 POLV-F30 POLV-F30 POLV-F40 POLV-F50 POLV-F60 POLV-F20 MOLV-F40 MOLV-F60 MOLF-F20MLF-F30MLF-F40MLF-F50MLF-F60M

配套的阀门管件:韩国TKF 1/4手动隔膜阀S4DVN-VM-P1/2手动隔膜阀S8DVN-VM-P1/4VCR五件套S4SG19-PS4LG19-PUN4GTS4MNS4FN

美国Valex不锈钢管,1/4EP不锈钢管、3/8EP不锈钢管、1/2EP不锈钢管。

 

 

 

 

联系我们

联系人:宋先生

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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:
  • 企业类型:经销商
  • 注册资金:人民币100万

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