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Horiba STEC质量流量控制器SEC-E50
20SLPM，SEC-E50V
常用型号
SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
应用域
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
流量计 硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；
流量计 氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；
恒温水槽 Yamato BV100S;
循环泵 CP08-PPRE-10；
程序板 VS4 等。
产品优势
· 配备可靠的热传感器和电磁阀
· 流量控制范围广：10 SCCM 至 200 SLM (N2)
· 应用广泛
· 可集成至各种制造系统，包括：液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜
o 一般工业：燃烧器气体控制；大气气体控制；混合气体生产；换气量测量
o 研发：各种气体传感器和燃烧室性能评估设备；生物技术相关评价
o 实验室：用于各种实验、气体取样的气流控制器
Horiba STEC质量流量控制器SEC-E40，小氮
Horiba STEC质量流量控制器SEC-E40，小氮
Horiba STEC质量流量控制器SEC-E40，小氮
Horiba STEC质量流量控制器SEC-E40，小氮
产品选型
技术规格
| 型号 | SEC- (质量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
| SEF- (质量流量计) | SEF-E40 | E50 | |
| 适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) | ||
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气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 | ||
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阀门型号 |
非通电时 关闭 | ||
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标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
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流量控制范围 | 2〜100% F.S. | ||
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流量测量范围 | 0〜100% F.S. | ||
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响应速度 |
1以内(T98) | ||
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流量精度 | ±1% F.S. | ||
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直线性 | ±0.5% F.S. | ||
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反复性 | ±0.2% F.S. | ||
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工作差压值值 | 10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d) | ||
|
使用压力 |
300kPa(G)以下 | ||
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耐 压 |
1MPa(G)以下 | ||
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外部泄漏率 |
1×10-8Pa・m3/s(He)以下 | ||
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使用环境温度 | 5〜50℃(精度的确保：15〜35℃) | ||
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流量设定信号 | 0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S. | ||
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流量输出信号 |
0〜5VDC(小负荷电阻2kΩ) | ||
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驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
| 标准接头*2 |
1/4SWL 类型 | ||
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：大值300kPa(G)；SEC-70/80：大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
horiba，SEC-E40，SEC-E40V，SEC-E50
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代理品牌
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
HORIBA competencies in Fluid Control, Measurement ａnd Analysis are enabling researchers, developers, original equipment manufacturers ａnd end users to deliver novels solutions to global demands.
