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铁电参数测试主要性能指标:
a. 外接5 kV高压放大器(可扩展至10 kV)(国产、进口均适用);
b. 动态电滞回线测试频率范围0.01 Hz ~ 5 kHz;
c. 大电荷解析度:10 mC(可扩展)
d. 疲劳测试频率300 kHz(振幅10 Vpp,负载电容1 nF);
e. 漏电流测量范围 1 pA ~ 20 mA(可扩展),分辨率0.1 pA;
f. 配有高压击穿保护模块。
g.温度范围:-160℃~260℃
本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台(配铁电测试盒)或高低温探针台(配高压探针)、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能,主控器提供扩展外置高压放大器接口,可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能,测试时,无需改变测试样品的连接,即可实现滞回,脉冲,漏电,IV等性能测试。
本测试系统铁电性能测试采用基于虚地模式的测量方法,与传统的Sawyer- Tower模式相比,此电路取消了外接电容,可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度,减少了对测试的影响环节,容易定标和校准,并且能实现较高的测量准确度。
变温铁电材料综合测试系统采用模块化设计,不同的模块对应不同的电特性测量。
标配版铁电模块测试功能:
动态电滞回线DHM
静态电滞回线SHM
I-V特性
脉冲PUND
疲劳Fatigue
变温测试THM
增强版铁电模块测试功能:
动态电滞回线DHM
静态电滞回线SHM
I-V特性
脉冲PUND
疲劳Fatigue
电击穿强度BDM
漏电流LM
电流-偏压
保持力RM
印迹印痕IM
变温测试THM
可选的模块:
POM 模块实现化测量功能
CVM模块实现小信号电容测试,获得C-V曲线
PZM模块实现压电特性测试
DPM模块测试介电性能
RTM模块测试电阻/电阻率性能
CCDM模块实现电容充放电测试