铁电参数测试主要性能指标：

       a. 外接5 kV高压放大器（可扩展至10 kV）（国产、进口均适用）；

       b. 动态电滞回线测试频率范围0.01 Hz ～ 5 kHz；

       c. 大电荷解析度：10 mC（可扩展）

       d. 疲劳测试频率300 kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；

       e. 漏电流测量范围 1 pA ～ 20 mA（可扩展），分辨率0.1 pA；

       f. 配有高压击穿保护模块。

       g.温度范围：RT～260℃

   本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台（配铁电测试盒）或高低温探针台（配高压探针）、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，主控器提供扩展外置高压放大器接口，可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现高温环境下的滞回，脉冲，漏电，IV等性能测试。

   本测试系统铁电性能测试采用基于虚地模式的测量方法，与传统的Sawyer- Tower模式相比，此电路取消了外接电容，可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度，减少了对测试的影响环节，容易定标和校准，并且能实现较高的测量准确度。

   高温铁电测试仪测试功能：

   动态电滞回线DHM

   静态电滞回线SHM

   I-V特性

脉冲PUND

疲劳Fatigue

电击穿强度BDM

   漏电流LM

   电流-偏压

   保持力RM

   印迹印痕IM

   变温测试THM