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台硕检测设备（苏州）有限公司
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地址：苏州市吴中区横泾街道天鹅荡路2659号2号厂房
以精密气浮主轴和高精度立柱导轨
为基准，采用计算机测量系统的转
台式圆柱度仪
产品特点
Product features
1ASO
台硕ili§测
®的补偿算法，对Z轴精度进行补偿
®可评定锥形柱体的轮廓度（小锥体）
© 气浮运动轴系，精度保持长久A仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在2.5+L/200nm以内
® Z轴光栅计数
©关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久
©业内先的高精度采集控制系统，控制系统所有电路按标准设计、生产及验收，
能在-70°C〜+70°C的温度区间内稳定工作
©模块化设计使用户维护成本降至低
产品技术规格
| 测量范围 | 大直径 | <t)300mm |
| 小内径 | c|)3mm | |
| 大咼度 | 420mm （可定制） | |
| 主轴精度 | 径向误差 | ±(0.025+5H/10000)nm |
| 轴向误差 | ±(0.025+6X/10000)nm | |
| 工作台 | 台面直径 | 0180mm |
| 回转直径 | 0320mm | |
| 承载重量 | 30Kg | |
| 调整范围 | 调偏心±2mm ;调水平±1° | |
| 旋转速度 | 0-12转/分 | |
| 水平臂 | 水平移动距离 | 160mm |
| 移动速度 | 自动0.5~6mm/s,或手动控制 | |
| 传感器 | 量程 | 600pm （半径差） |
| 分辨率 | 0.005pm | |
| 测针形状 | 宝石球测头 | |
| 测力 | l-12g | |
| 回转轴线与Z轴导轨平行度 | 2|im/300mm,母线基准 | |
| 立柱直线度 | 0.5nm/100mm, 0.8|im/300mm | |
| 数据采集 | 进口光栅7200点/周 | |
| 放大倍率 | 任意至大20万倍 | |
| 电源 | AC 220V±10% 50Hz | |
| 气源压力 | 0.45〜0.80Mpa （气源质量要求：常规） | |
