产品描述

iMicro采用InForce 1000驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试，并可选择添加InForce 50驱动器来测试较软的材料。InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米测试。iMicro是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。

主要功能

• InForce 1000驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头

• 可选的InForce 50驱动器提供 大50mN的法向力来测量软性材料，并提供可选的Gemini 2D力荷载传感器用于双轴动态测量。独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准

• InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

• XY移动系统以及易于安装的磁性样品架

• 高刚度龙门架，集成隔振功能

• 带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位

• ISO 14577和标准化测试方法

• InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序

主要应用

• 硬度和模量测量(Oliver Pharr)

• 高速材料性质分布

• ISO 14577硬度测试

• 聚合物tan delta，储存和损耗模量

• 定量刮擦和磨损测试

• 样品加热

工业应用

• 大学、研究实验室和研究所

• 半导体行业

• PVD / CVD硬涂层（DLC，TiN）

• MEMS（微机电系统）/纳米通用测试

• 陶瓷和玻璃

• 金属和合金

• 制药

• 涂料和油漆

• 复合材料

• 电池和储能

• 汽车和航空航天

硬度和模量测量（Oliver Pharr）

机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造段和后段的工艺控制。

iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。

高速材料性质分布

对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。

ISO 14577硬度测试

iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。

聚合物Tan Delta、储存和损失模量

iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。

定量划痕和磨损测试

iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。

高温纳米压痕测试

高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米别上不易测试的材料过渡塑性。