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低频电源提供600W、1000W功率输出,频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源,主要应用于半导体域。应用对象包括:刻蚀、PECVD、PVD等系统
产品性能
低频电源提供600W、1000W功率输出,频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源,主要应用于半导体域。应用对象包括:刻蚀、PECVD、PVD等系统
产品性能
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应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源,主要应用于半导体域。应用对象包括:刻蚀、PECVD、PVD等系统
产品性能
低频电源提供600W、1000W功率输出,频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。
应用对象
该电源作为射频驱动等离子体系统的电源,主要应用于半导体域。应用对象包括:刻蚀、PECVD、PVD等系统