低频电源提供600W、1000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。

应用对象 

该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统

产品性能

低频电源提供600W、1000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。

应用对象 

该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统

产品性能

低频电源提供600W、1000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。

应用对象 

该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统

产品性能

低频电源提供600W、1000W功率输出，频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。

应用对象 

该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统