技术指标


X射线膜厚测试机器分析元素范围：硫（S）～铀（U） 
同时检测元素：多24个元素，多达5层镀层
分析含量：般为2ppm到99.9% 
镀层厚度：般在50μm以内（每种材料有所不同）
SDD探测器：分辨率低至135eV
的微孔准直技术：小孔径达0.1mm,小光斑达0.1mm
样品观察：配备景和局部两个工业高清摄像头 
准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合 
仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
样品台尺寸：393（W）x 258 （D）mm
X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 高速度333.3mm/s
X/Y/Z平台重复定位精度：小于0.1um
操作环境湿度：≤90%
操作环境温度：15℃～30℃ 
自动智能控制方式，键式操作!
开机自动自检、复位； 
开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样； 
关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦； 
直接点击景或局部景图像选取测试点； 
点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示结果。 
 

性能优势 

1.X射线膜厚测试机器精密的三维移动平台 

2.的样品观测系统 
3.的图像识别 
4.轻松实现深槽样品的检测 
5.四种微孔聚焦准直器，自动切换 
6.双重保护措施，实现无缝防撞 
7.采用大面积高分辨率探测器，降低检出限，提高测试精度 

厂家介绍

江苏镀层测厚仪——天瑞仪器生产厂家，分析仪器上市公司（股票代码：300165），总部在江苏苏州昆山市，美丽的阳澄湖畔，大方便了江苏省内及周边省市售后服务，同时公司在省会城市设有售后服务网点，满足不同区域内客户的服务需求。公司现有员工1100人，包括研发部、技术部、生产部、内业务部及海外市场部、品管部、计划部、采购部、仓管部、人力资源部、财务部、及董秘处和行政部等部门，且公司规模日益壮大。