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PolishCheck (Tropel可缝合平坦度检测仪)

点击次数:627发布时间:2009/11/2 0:00:00

PolishCheck (Tropel可缝合平坦度检测仪)

更新日期:2012/3/8 16:46:51

所 在 地:美国

产品型号:

简单介绍:高精度平坦度(Flatness)检测设备,对Wafer和Polishingblock进行多参数的平坦度检测,并有(StitchingSoftware)缝合功能。

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优质供应

详细内容

Principle/原理:Grazing incidence Interferometer/斜入射干涉
Accuracy/精度:0.05-0.5μm(不同参数不同精度) 
Resolution/解析度:0.01μm/0.1微米
Part Size/尺寸范围:12mm-595mm/12毫米-595毫米
Dynamic Range/动态测量范围:50μm/50微米
Data Point/数据点:Up to 250,000/达250,000以上
Measurement Time/测量时间:45s/45秒
Standard Measurements/标准测量:Flatness/Line profile/Spherical radius
Data Analysis/数据分析:3D,topographic,yield,distribution
X,Y,circular and radial slice
Flat,spherical,and conical fit data
Wafer Global: 
           Front Referenced:TIR,FPD,NTD,SLICE
           Back  Referenced:TTV,TAPER,SLICE
Wafer Site:
           Front Referenced:LTIR,LFPD
           Back  Referenced:LTV,LDOF
Block:BlockCheck,Whole Block Reconstruction,Block Slice,Block Segment

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联系人:张小科

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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:
  • 企业类型:经销商
  • 注册资金:人民币万

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