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可同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪

点击次数:1390发布时间:2012/4/26 17:53:21

可同时测量薄膜反射率、折射率、透射率的光学薄膜测厚仪

更新日期:2012/4/26 17:53:21

所 在 地:美洲

产品型号:SRT

简单介绍:美国AST公司是一家专注于薄膜分析专业公司,产品线覆盖光谱反射测厚仪,光谱椭偏仪,显微薄膜分析设备,在线分析设备等,可以提供薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,光学参数(N,K),薄膜表面粗糙度以及其他的物理,化学,光学性能的测试。产品客户覆盖平板显示,光伏太阳能,半导体等领域。SRT100是一款集薄膜厚度、反射光谱、透射光谱、吸收光谱、折射率、消光系数于一体高性价比测试仪器。

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详细内容

 

产品特征:
· 易于安装
· 基于视窗结构的软件,很容易操作
· 的光学设计,以确保能发挥出的系统性能
· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性
· *多可测量5层的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、透射率和吸收光谱等一些参数
· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
· 通过模式和特性结构直接测量。
· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
 
 
 
系统配置
型号:SRT100
检测器:双通道CCD阵列的每个像素2048
光源:氘灯和高功率卤素灯
光传输:光纤
载物台:黑色铝合金样品测量平台轻松调整高度,100mmx100mm尺寸
通讯:USB
测量类型:薄膜厚度,反射光谱,透射光谱,折射率
软件:TFProbe 2.3
电脑需要:常规配置
电源:110 - 240伏交流电/ 50 - 60Hz的,1.5A
保修:1年
产品规格
波长范围:250nm到1100 nm
光斑尺寸:500μm至5mm
样品尺寸:100mmx100mm
基板尺寸:*多可至50毫米厚
测量厚度范围*:5nm-50μm
测量时间:*快2毫秒
精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于1A
产品应用:
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
医学,生物薄膜及材料领域等
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
医药,中间设备
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半导体化合物   非晶体,纳米材料和结晶硅
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
                 

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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:****
  • 企业类型:经销商
  • 注册资金:人民币万

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