测量表面光洁度范围： ▽3-▽9(相当不平度0.8-80um) 
表面光洁度（级别）：9、8-7、6-5、4-3  
所需物镜：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、14 倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12  
总放大倍数：510X、260X、120X、60X  
物镜组件工作距离(mm):0.04、0.2、2.5、9.5 
视场（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5  
不平宽度：用测微目镜：　0.7微米~2.5毫米 
用座标工作台： （0.01~13）毫米  
仪器重量约： 23公斤  
仪器的成套性： 
1、仪器主体　　　　　　　　　　 1台 
2、测微目镜　　　　　　　　　　 1只 
3、座标工作台　　　　　　　　　 1件 
4、V型块　　　　　　　　　　　　1件 
5、标准刻尺（连盒）　　　　　　 1件 
6、物镜7X、14X、30X、60X　　　　各1只 
7、可调变压器220/4~6V　　　　 　1只 
8、6V2.1W灯泡（备用件）　　　　 3只