1）光栅计数尺的误差;

　　2）直线度、角摆在工作台移动时带来的误差;

　　3）工作台两测量轴垂直度带来的误差;

　　4）工作台面与显微镜光轴不垂直带来的误差;

　　5）偏离校准要求的参考温度的测量室温度带来的误差;

　　6）光源照明条件的变化带来的对准和对焦误差。

　　在这几种因素中，四项误差在仪器制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变，是硬件误差。必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小温度影响带来的误差。在实际测量中一项则常被忽视，被测工件的影像质量和照明效果直接受到光源照明条件改变的影响，主要是因为影像测量仪的图像是通过具有自动调节增益的功能CCD接收，但当亮度过大时则会失去调节功能，导致被测工件影像缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大。所以只要注意整个测量过程中照明条件保持不变，其影响可以忽略，因为每个重复图形结构都同时在变大或变小，影像变形的影响被间距的测量计算直接消除了；除了这种特殊情形外,如测量工件的长度、圆的直径和宽度，都将带来明显的误差。

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