氟型准分子激光用气F2 〈5%(平衡气Ar或氦)； F2 〈5%(平衡气氖)
F2 0.1%; Kr 0.2%; Ne 97.9%
F2 0.23; Ar 10.38; Ne 25%; He 64.39%
氯化氢型准分子激光HCl 5%; He 95%
HCl 5%; H2 1%; He 94%
HCL 0.14%; H2 0.03%; Xe 2%; Ne 97.83%
激光器用气CO2 12-16% （平衡气He）
CO 2%； CO2 8%； N2 8% （平衡气He）
H2 0.4%；CO 4%； CO2 8%；N2 8% （平衡气He）
照明光源用气Ar 100ppm-3% （平衡气Ne）
N2 12-17% （平衡气AR）
CH3Br 0.1-1% （平衡气Kr）