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产品展示

美国PIE等离子清洗仪

点击次数:135发布时间:2020/5/29 11:52:21

美国PIE等离子清洗仪

更新日期:2020/5/29 11:52:21

所 在 地:

产品型号:SEMI-KLEEN

简单介绍:美国PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪, 采用低压清洗技术,可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器

优质供应

详细内容

美国PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪, 采用低压清洗技术,可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器。

本仪器由一个LCD触摸屏控制器和一个远程射频(RF)等离子源组成,远程等离子源通过一个KF40真空法兰连接到待清洗真空室,有转接法兰提供。主要用于清洗各种扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM),聚焦离子系统(FIB),离子显微镜(HIM)等真空系统中碳氢及其他污染。同时清洗真空腔体和样品。(详情请咨询PIE中国总代理南京覃思科技有限公司)

 

一. 特有功能

1. 优越的等离子技术,可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度更快,更均匀,对电子枪和分子泵更安全;
2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉;
3. 带气压计的自动气体流量控制;
4. 实时测量等离子强度,用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方;
5. 自动射频匹配实时保证*优化射频耦合,即使用户调节清洗配方;
6. 保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严格颗粒污染要求;
7. 带LCD触摸屏的直观操作界面;
8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划,设好就自动清洗您的系统;
9. 支持清洗配方,一键开始,自动射频匹配,自动控制气体流量;
10. 微电脑控制器可记录所有信息状态,便于系统维护。

 

二. 技术指标

1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰; 提供转接法兰;
2. 标配等离子强度传感器;
3. 等离子源点火起辉气压:<0.1毫托;
4. 等离子源工作气压:>1.0 托;
5. 漏气率:<0.005sccm;
6. 射频输出:0~100瓦,连续可调节;
7. 具有射频自动匹配功能

8. 电源和功率:110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦

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联系人:苏海

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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:
  • 企业类型:经销商
  • 注册资金:人民币万

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