＊ MFPP & M4PP：四点或多点奈米探针

微观四点探针 M4PP ，比传统的四点探针的间距小三个数量级，利用硅微加工技术加工而成。 CAPRES 可以提供间距为 5, 10, 15, 20, 25 和 30 微米的探针。

这种探针技术适用于材料微观电性能的表征，是半导体和薄膜工业质量控制的理想工具。它们也可被用于研究，例如对多晶材料中单晶粒或单畴的电导率进行成像。或者该技术可用于在超高真空 UHV 下，清洁硅片由于表面重构造成的微观电子输送的改变。这项技术是 MIC 和日本东京大学物理系合作的部份结果。

CAPRES 现正于为客户的特殊要求定制探针，可以制作间距小至 1.5 微米的探针。