洁净室多级碰撞采样器 
 

该多级碰撞采样器将悬浮颗粒按照粒径大小分级采集到硅片、铝膜及其它平面介质上进行扫描电镜或其它技术分析洁净室污染。

仪器特点：

l         6级碰撞采样

l         切割直径：0.05、0.1、0.3、1.0、3.0、10µm

l         采集颗粒于不同介质上进行粒径、形状及化学成分分析

l         噪音低无污染采样泵

l         采样流量：3 L/min                                                                                                                                    3 liters per minute

l         尺寸WxHxD：230 x 300 x 240 mm