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激光共聚焦扫描显微镜
点击次数：1121发布时间：2009/11/2 0:00:00
更新日期：2012/3/8 16:46:51
所 在 地：日本 OLYMPUS
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详细内容
1.采用AR离子激光光源，分辨率可达0.15微米
2.聚焦*小步进/行程：0.01微米/10毫米
3.采用反射激光方式进行自动聚焦
4.激光安全等级：CLASS 2
5.图像感应装置：光电倍增管
主要特点
1.二维形态图像获取（2-D Morphologic）
2.三维形态图像获取（3-D Morphologic）
3.三维轮廓与地形图像（3-D Profile,3-D Topography）
4.可进行亚微米级线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度、透明膜厚测量
5.非破坏性，非接触，无须制样，无须真空，快速直观
