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概述
nEXT300D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术，上轴承为永久性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并改进转子设计，使其更加有效地实现分子拖曳行程，*终提高抽速和压缩比，同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机，内置驱动，与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种预设功率可选，前者可使用100W TIC控制器，适用于抽氩气，但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
*新的转子设计，可以实现卓越的抽速和压缩比
维护简便，用户可以在短时间内完成维护，无需复杂的工具或拆卸
设计紧凑，性能卓越，可以实现高效系统化
与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容，可加3个真空规，而无需额外控制器
符合RoHS，并通过CSA/UL认可
技术指标
入口法兰 | DN100ISO-K，DN100CF | |
出口法兰 | KF25 | |
抽 速 | N2 | 300l/s |
He | 340l/s | |
H2 | 280l/s | |
压 缩 比 | N2 | >1×1011 |
He | 1×106 | |
H2 | 5×104 | |
极限真空（ISO/CF，RV前级泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar | |
推荐前级泵* | RV12/nXDS10i | |
放气口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |
吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |
连续入口流量（氮气）? | ||
水冷（水温15°C，环境温度40°C） | 95sccm | |
空冷（环境温度35°C） | 115sccm | |
泵转速 | ||
标称转速 | 60000rpm | |
待机转速 | 33000~60000rpm可调 （缺省42000 rpm） | |
功率范围 | 50~200W可调 （缺省160W） | |
90%转速启动时间 | 145s? | |
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |
冷却方式# | 空冷/水冷 | |
空冷环境温度 | 5~35°C | |
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |
水温范围 | 10~20°C | |
入口法兰温度 | 80°C | |
工作姿态 | 垂直、水平（±2°） | |
噪声（1m处） | <45dB(A) | |
耐受磁场 | 5mT | |
推荐控制器 | TIC200涡轮仪表控制器 | |
稳态功耗 | 20W | |
* 根据应用可使用较小的前级泵，如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于该入口压力，转速会降至标称转速以下。
? 功率为160 W。
# 空冷和水冷却附件须单独订购。
订货信息
货号 | 描述 |
B82200100 | nEXT300D涡轮分子泵：ISO100 入口法兰 |
B82200200 | nEXT300D涡轮分子泵：CF100 入口法兰 |
B82200101 | nEXT300D涡轮分子泵：ISO100 入口法兰，80W |
B82200201 |
|
D39722000 | TIC涡轮仪表控制器：200W、RS232 |
B58053175 | nEXT径向风扇 |
B58053170 | nEXT径向风扇，带泵驱动接头 |
B80000815 | nEXT 水冷组件 |
B80000812 | 油滤筒工具组件 |
B80000805 | 轴承和油滤筒工具组件 |
B80000811 | 油滤筒 |
B80000810 | 轴承和油滤筒 |
