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加速度传感器
点击次数：893发布时间：2007/1/2 11:24:44
更新日期：2011/1/1 5:17:59
所 在 地：山西
产品型号：MEMS
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详细内容
机械电气性能优良：硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度接近铝，热传导率接近钼和钨，具有很好的抗冲击性能及环境适应能力。
低成本：用硅微加工工艺在一片硅片上可以同时制造出数千个微机械部件或完整的MEMS芯片，批量生产可以大大降低生产成本。
更新日期：2011/1/1 5:17:59
所 在 地：山西
产品型号：MEMS
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