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仪器特点：
搭载MS-WINDOWS系统（优越的操作性与高精度测定）
与IBM PC 相容个人电脑
使用与IBM PC相容个人电脑，采用MS-WINDOWS软体，使用时多彩多姿。
采用二种滤波器
用用数位式滤波器外另有机械式滤波器（两种滤波器），在测定时，若是*适当的条件下，经常可得到的精度。
准值仪5种孔径内藏式
*小的准值仪孔径仅0.1 mm，可测定极微小的部品。
标准：0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05＊0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自动测定测量台
利用滑鼠来调整测量位置，非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定，利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
优越的显示机能
测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率率更机能来实现尽面上测出物放大。
在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提长资料处理的速度
充实测量报告的作成机能
采用MS-WINDOW软件，测定画的撷取，非常简便，可充衬测量报告的制作机能。可同时间隔处理多项工作，机器在测量中亦可处理其他工作：包括如测量报告的制作。
测定物膜厚附著分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附著状态的分布，作判定时一目了然。
获得安心的保证性。
自己诊断机能及X线管保食机能
自己诊断机能，迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能，可加强保养的安全性。
各机型规格参数：
| 机型 | 手动测量台 | 自动测量台 | ||
| 测量主体 | 测量台尺寸（mm） | 170＊110 | 240＊220 | |
| 移动量 | X（mm） | 70 | 200 | |
| Y(mm) | 70 | 200 | ||
| Z(mm) | 50（150） | 50 | ||
| 测定物高度（mm） | 50（option 150） | 50 | ||
| 尺寸（mm） | 602(W)＊463(D)＊732(H) | |||
| 重量（kg） | 55 | 61 | ||
| 样品何重（kg） | 3 | 1 | ||
| 电脑 | 尺寸（mm） | 本体182（W）＊383（D）/显示幕412（W）＊415（D）＊432（H） | ||
| 电脑重量（kg） | 本体9/显示幕16 | |||
| 印表机 | 重量（kg） | 5．2 | ||
| 电源 | AC100V±10V（option AC115V、AC230 | |||
仪器详细介绍：
| 1. X線源 | 油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓，可變管電壓。 | |
| 2. 照射方式 | 由上而下垂直照射方式。 | |
| 3. 檢出器 | 比例計數管。 | |
| 4. 濾波器 | 採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。 | |
| 5. 準直儀 | Collimator 採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜. (選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜. (選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜. | |
| 6. 樣品觀測系統 | 彩色CCD及高畫質顯示幕。 | |
| 7. 多能譜分析器 | 使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。 | |
| 電腦操作部: | 8. 電腦系統(※僅供參考) | IBM 相容中文個人電腦. CPU：Intel Celeron 1GHz. RAM：128 MB. Floppy Disk：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk：40 GB. 17" 高畫質顯示幕. EPSON彩色噴墨式印表機。 |
| 9. 本機型(COSMOS-1X系列)之操作系統採中文視窗(Windows98)對話式操作，非常簡便。 | ||
| 特性說明: | 10. 測量項目 | 單層膜厚測定. 2層膜厚測定. 3層膜厚測定. 無電解鎳膜厚測定. 合金膜厚成份比同時測定. 元素的光譜峰值測定分析. |
| 11. 測量材質 | 原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。 | |
| 12. 測量範圍 | 原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um. | |
| 13. 測量機能 | 同一點重複測定機能 輸出形式設定. 能譜測定. | |
| 14. 測量條件或膜厚規格可以保存 | 當要測量相同的製品時，若測量條件已儲存，可以馬上進行測量。 檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。 測量檔案數 ：可登錄儲存300組檔案。 | |
| 15. 檔案記錄 | 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因所使用的電腦之容量大小而定) 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱. 每個批號可單獨執行統計處理. 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). | |
| 16. 資料處理 | 統計值表示：平均值、標準偏差、值、*小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。 X-R 管制圖. 柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。 | |
| 17. 底材補正 | 當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。 | |
| 18. 觀物顯示幕 | 十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕 | |
| 安全裝置. | 19. 本機俱有自動安全斷電系統功能. | |
| 20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出，以防止外人任意操作. | ||
| 其他機能. | 21. 密碼辨識功能 | |
| 22. 裝置維護調整 | ||
| 23. 測量部主機 | 尺寸：362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量：約 44.2 Kg. | |
| 24. 操作部：(※僅供參考) | 電腦尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量：約 8.8 Kg. 顯示幕尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量：約16.5 Kg. 印表機尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量：約 4.3 Kg. | |
| X-Y-Z軸可移動式測量台 | 25. 測量台尺寸及移動量. | 測量台尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ 移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. |
| 26. 測量樣品限制 | 樣品限制高度： 45㎜ 樣品限制重量： 3 Kg. | |
| 使用電源. | 27. 電壓 | AC100V ±10V ； 50/60Hz (選購) AC110V， AC220V. |
| 28. 容量 | 700V | |
