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产品展示

OLYMPUS奥林巴斯自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜 AL110/MX61

点击次数：1241发布时间：2009/11/2 0:00:00

更新日期：2012/3/8 16:46:51

所在地：日本

产品型号：AL110/MX61

简单介绍：OLYMPUS AL110/MX61 产品特性 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性● 灵活的程式设计,*短的搬送时间极大的提高了生产效率● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)

相关标签：OLYMPUS AL110/MX61 显微镜 自动晶圆搬送机 半导体检查显微镜

优质供应

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OLYMPUS AL110规格：

型号

200mm型

200/150mm
兼容型

100/125/150mm
兼容型

项目

LMB

晶圆直径

200晶圆边
200mm切口

√

150mm晶圆平边

√

100/125/150mm
晶圆平边

√

观察方式

连续和采样

√

转换方式

正面宏观检测

√

背面宏观检测

√

2次背面检测

√

表面显微观测

√

适用显微镜

MX61/MX61L型

√

规格(mm)

580(W)＊580(D)＊297(H)

490(W)＊520(D)＊297(H)

重量(kg)

能耗

电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa

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联系人：吴卫平

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工商认证： 【未认证】
最后认证时间：
法人：
注册号：
企业类型：经销商
注册资金：人民币万

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