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产品展示

OLYMPUS 激光扫描共焦显微镜 OLS3000

点击次数：1157发布时间：2009/11/2 0:00:00

OLYMPUS 激光扫描共焦显微镜 OLS3000

更新日期：2012/3/8 16:46:51

所 在 地：日本

产品型号：OLS3000

简单介绍：● 世界的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米 ●3D成像，高精度测量，Z轴*小读数精度0.01微米。●实时像的获得和测量同时。 ●408nm激光采用

相关标签：OLYMPUS 激光扫描共焦显微镜 OLS3000 显微镜 共焦显微镜 

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● 世界的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米

●3D成像，高精度测量，Z轴*小读数精度0.01微米。

●实时像的获得和测量同时。

●408nm激光采用

激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测:
1）测量
  • 2D测量：测量范围1.5mm～1 μm；
    不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。
  • 3D测量：测量范围1mm～0.5 μm；
    体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。
  • 粗糙度分析：*适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
    不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。
    • 2）3D形貌
  • 能获得3D色彩等多种多样的信息
  • 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
  • 利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。
    • 3）高分辨率观察
  • 显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。
  • 接近SEM的高对比度的解像度。
  • 可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
  • 利用微分干涉进一步提高分辨率。
  • 实时观察。
  • 观察范围是2，560X2，560μm

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