应用激光波长监视器光源的光谱分析等离子控制

规 格
型 号
SL40–2–1024USB SL40–2–2048USB
SL40–2–2048UV﹡ SL40–2–3648USB
SL40–2–3648UV﹡
传感器型式 S5463–1024Q TCD1205D TCD1304AP
像素数 1024 2048 3648
像素幅宽 μ m 25 14 8
像素高度 mm 0.5 0.2 0.2
反应波长范围 nm
200–1060 250–1100 250–1060
– 190–1100﹡ 190–1060﹡
*小曝光时间 ms 6﹐1 4﹐1 7﹐4
曝光时间(20℃) s 30 4 4
*小扫描时间间隔 μ s 1 1 1
一个扫描的S/N比 1000︰1 400 ︰1 300 ︰1
动态范围 3000︰1 1000︰1 1000︰1
A/D转换器 bit 14 12 12
同 期 内部、外部 内部、外部 内部、外部
﹡UV型的反应波长范围不同，请另外指定。

波 长
光栅 1/mm 400 600 600 600 1200 1800
发光波长 nm 700 350 450 650 270 270
同时检测波长范围注1） nm 600 400 400 400 200 140
检测波长范围注2） nm 470-1100 230-700 300-900 430-1100 190-540 190-540
波长分解度 nm ＜2.5 ＜1.5 ＜1.5 ＜1.5 ＜0.8 ＜0.5
逆线分散 nm/mm 49,3 34,8 33,5 32,9 17,7 11,8
注1) 在检测波长范围内请指定同时检测波长的范围。
注2) 光栅反射率是40%以上的波长范围。


接 口
计算机接口 USB
入射光学系统 光纤
光纤 单芯光纤，2根或2分叉的，1支
材料性质 UV石英 0.4mm直径
长度 2m

光学系统
F值4.9 焦点距离40mm
软件
对应Windows95/98/Me/2000/XP
通道类型： 单通道、亦可选择
双通道背部测量
波长校正（包含校正数据）
峰值、平滑值（Smoothing）、其它
集约化尺寸
107.5×78×39.5mm