类型:EP.BA级
特点:大流量型
流量:300L/min（正常）
使用压力:3MPa或1MPa
压力调整范围:3Mpa或1MPa
气体接触部分粗糙度:EP: Ra 0.1μm以下;BA: Ra0.3μm以下
气密性:EP:1×10-10Pa.m3/s以下;BA:1×10-9Pa.m3/s以下.

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