原理：

利用二个匹配的铂热电阻（RTD），该传感器牢固地安装在探测装置中，惠思顿电桥对其中一个RTD优先加热，而第二个RTD吸收流动气体的温度作为温度参照。由于热量从气体加热的RTD扩散，需要更多的功率维持平衡－该功率与气体质量流量成正比，从而传感器可以直接测量气体分子的流速，EPI流量传感器无需压力温度补偿。

性能指标：

测量介质： 组份较稳定的单一或混合气体；
测量环境： 防爆、非防爆
流量范围： 管道式0slpm（标升/每分）-38000slpm
（标升/每分）
插入式0.075m/s(米/秒)-200m/s(米/秒)
量 程 比: 1000:1
介质压力： 耐压3.5Mpa扩展至6Mpa
介质温度： 管道式：0℃-65℃，可扩展至-40℃ -200℃
插入式： 0℃-65℃，可扩展至-40℃-450℃
环境温度： 0℃-65℃，可扩展至-50℃-120℃
精 度： （1%R.D.+0.5%F.S.）
重 复 性： 0.25%满量程
信号输出： 0-5VDC和4-20mA 供电电源：AC：220V或DC+24V
管道口径： 管道式：1/8-4英寸；
插入式：80-4000mm（甚至更大）
管路连接： 阳螺纹、法兰及管附件
显 示： 瞬时流量累计流量
探头防尘罩：用于大流量测量及含粉尘较多气体
球阀曳取器：用于不截断气流情况下取出流量计
信号平均器：用于多点式测量
材 质：316L不锈钢