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主要技术参数
1、标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm
不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm
焦距:f=400mm.
4、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o
成像物镜:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10
f=16 f=23 f=37
5、干涉室尺寸:深260宽300190mm。
6、光源规格:激光ZN18(He-Ne)。
7、仪器的外形尺寸:长宽高 350400720mm。
8、仪器重量:100公斤。