＊Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System

表面微粒子计量器, 小型环境微粒子、温湿度、压差、风速监控系统

美国Pentagon Technologies 的 QIII+ 应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 内Surface Particles 量测, 可降低产品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作台面积台表面洁净度..等的验证. 此已为目前机台维护作业时的标准工具. Q-view 为一针对Mini-environment, Factory Interface 等

Critical Area 可量测 Particle, △P, TRH, Velocity..的监视模块, 可实时反应出Contamination Issue.