气流质量传感器
微桥气流质量传感器是基于气流流过传感元件的热传输工作原理,传感器输出电压正比与流过内部传感元
件的进出口的空气或其他气体质量.

典型运用: 特点:
·HVAC的风门挡板控制 ·低气流速度敏感 - 0.1sccm
·气体分析仪、气体标定 ·检测流量20升/分钟
·低真空控制、过程控制 ·快速响应，低电流损耗，高反应重复性
·医用呼吸仪和肺活量仪 ·激光刻蚀提供了器件的一致性
·氧气供应、麻醉控制仪 ·低压力精确测量（0.001 - 4”H2O）
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AWM2000系列 小流量/无放大
此系列为无源器件，包含两个惠斯顿电桥：一个为闭环的发热控制电路，一个为双传感电路
AWM2100V 流量范围: ±200sccm 特点：
AWM2150V 流量范围: ±30sccm 双向气流
AWM2200V 压力范围: ±4.0”H2O 实际气体质量流量传感
AWM2300V 流量范围: ±1000sccm 需另加发热器控制及传感器供电电路
AWM3000系列 小流量/放大
此系列内有发热控制电路、双传感器及差分分放大电路
AWM3100V 流量范围: +200sccm 特点：
AWM3150V 流量范围: +30sccm 此系列的输出为1-5V
AWM3200V 压力范围: ±2” H2O 激光校证了器件的一致和互换性
AWM3300V 流量范围: +1000sccm
AWM3000 微压系列
AWM3200CR 压力范围: 0 ~ 2” H2O 特点：
AWM3201CR 压力范围: 0 ~ 0.5” H2O 此系列为4-20mA线性输出

建议加5微米过滤网
AWM40000系列
AWM42150VH 不放大 流量范围:±25sccm 特点：
AWM42300V 不放大 流量范围:±1000sccm 多个集中安装/O型密封圈
AWM43300V 放大，1-5V输出 流量范围:±1000sccm 工作温度可至125℃
AWM43600V 放大，1-5V输出 流量范围:±6000sccm 零点和满量程高稳定性
AWM5000系列 大流量/放大
此系列产品都包括通过激光校整得到的放大、线性修正、温度补偿和气体标定。
AWM5101 流量范围: 0 – 5L 特点：
AWM5102 流量范围: 0 – 10L 1 – 5V输出
AWM5103 流量范围: 0 – 15L 在线测量
AWM5104 流量范围: 0 – 20L 文丘里管设计
AWM700系列 大流量/放大
AWM720P1 流量范围: 0 – 200L 特点：
·快速反应，高稳定性，低功耗，较小的读数误差