9J光切法显微镜以光切法测量和观察机械制造中零件加工表面的微观几何形状；在不破坏表面的条件下，测出截面轮廓的微观平面度和沟槽宽度的实际尺寸；此外，还可测量表面上个别位置的加工痕迹和破损。本仪器适用于测量1.0-80um表面粗糙度，但只能对外表面进行测定；如需对内表面进行测定，，而又不破坏被测零件时，则可用一块胶体把被测面模印下来，然后测量模印下来的胶体的表面。

9J光切法显微镜主要技术参数
仪器的示值相对误差（分段计）              5%-24%
摄像装置放大倍数                                ≈6×           
测量平面度范围                         ≈（0.2-25）um
平面宽度
用测微目镜                        ≈（0.0007-2.5）mm
用坐标工作台                         ≈（0.01-13）mm
仪器质量                                       ≈23kg
仪器外形尺寸（l×b×h）mm               180×290×470

仪器的成套性：