主要特点：



1.不受IPA或有机溶剂干扰

2.传感器性能稳定，运行可靠

3.热裂解原理，热裂解器紧凑结构设计

4. 24VDC电源，低功耗设计（10W）

5. 4-20mA 标准信号输出

6.具备状态自检功能

7.泵吸式，连续工作

SH-2607TS-N 专为检测TEOS泄漏设计，被电磁隔膜泵抽取的样品气体输送到热裂解器中转化成能被传感器检测的SiO2，专用传感器型号为GS-2800SD。 SH-2607TS-N检测器具备状态自检功能，可以自动检测诊断系统故障，如：加热器烧断，电源故障等。 TEOS 作为一种液态硅材料的来源普遍应用于半导体晶圆制造厂。TEOS 同时也是一种不易有效稳定检测的物质，传统的电化学检测系统经常会被IPA干扰。 百欧尼仕(Bionocs) 开发的热裂解技术将TEOS转化成SiO2检测，消除了干扰问题。良好的检测选择性可以有效的检测TEOS不需担心被IPA或乙醇有机溶剂干扰。

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