美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。

技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
工作压力: 1500psi（10.432Mpa）
气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
内置微处理器，智能化、数字化。软件组态，数字通讯，支持微软Windows动态数据交换。
流量范围：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
压力：1500psi；
温度：65℃；
输入/输出：0-5V；
电源：+/-15V