WGL光电轮廓仪价格:98000元。
WGL光电轮廓仪介绍
1 WGL光电轮廓仪获2007年BCEIA金奖,2007年度优秀产品奖,2006-2007年度科学仪器优秀新产品奖。号:ZL200610148202.6。 2 WGL光电轮廓仪采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。
3 WGL光电轮廓仪适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度,标尺、度盘的刻线深度,光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌,磁(光)盘、磁头表面结构测量,硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
4 WGL光电轮廓仪测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量等特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果。
5 WGL光电轮廓仪适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,精密加工车间和高等院校及科学研究单位等。
WGL光电轮廓仪主要特点
6 仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;
7 应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;
8 用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;
9 用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;
10 增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能。
WGL光电轮廓仪技术参数
· 表面微观不平深度测量范围:在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1/4波长的高度突变时:1000nm~1nm;相邻二象素之间含有大于1/4波长的高度突变时:130nm~1nm;
· 测量的重复性:δRa≤0.5nm;
· 物镜倍率:40×;数值孔径:0.65;工作距离:0.5mm;
· 仪器视场:目视Φ0.25mm,摄象0.13×0.13mm;
· 仪器放大倍数:目视500×,摄象(计算机屏幕观察)~2500×;
· 接收器测量列阵:1000×1000,象素尺寸:5.2×5.2μm;
· 测量时间/采样(扫描)时间:1s;
· 仪器标准镜:反射率(高)~50%,反射率(低)~4%;
· 照明光源:白炽灯6V 5W;
· 绿色干涉滤光片波长:λ=530nm,半宽度λ=10nm;
· 主显微镜升程:110mm;
· 工作台升程:5mm;
· X、Y方向移动范围:~10mm;
· 工作台旋转运动范围:360°;
· 工作台倾斜范围:±6°;
· 操作系统:WGL专用软件,Windows XP或2000系统;
· 电源:220V±22V,50Hz±1Hz;
· 外形尺寸:主机300mm×300mm×500mm,电源180mm×280mm×200mm;
· 仪器净重:28kg。
产品相关关键字: 轮廓仪 WGL 光电轮廓仪