划片切割机
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详细内容
2、主轴3000转大扭矩直流电机,通过带传动,驱动主轴转动。通过控制旋转扭可调节电机0-3000 r/min速度变换。工作电压220V。
3、计算机控制的步进电机驱动分辨率0.0025°。
4、电动旋转台可手动或自动控制旋转角度。旋转平台采用精密电移台装置,水平360度转动,公差在±0.01度之间,也可按刻度指示手动旋转平台,操作简单方便。
5、配有精密的φ203.2mm(8英寸)真空吸盘,划片晶圆直径可达8英寸。切割操作使用φ220mm8载体盘,切割行程200×200mm。
6、可根据切割材料的尺寸选用合适的锯片和夹具垫。
7、具有防水防溅装置,并由节流阀调整切割液流量。喷头角度和位置可调。
8、大口径下水装置,切割液排泄更为流畅。
序号 | 项 目 | 技术指标 | 单位 |
1 | 主轴功率 | 180 | w |
2 | 主轴转速 | 0-3000 | r/min |
3 | X轴行程 | 205 | mm |
4 | Y轴行程 | 205 | mm |
5 | Z轴行程 | 50 | mm |
6 | 可加工划片厚度 | 0.05-2.5 | mm |
7 | 可切割深度 | 10(局部可达30mm) | mm |
8 | 工作台转角及转角误差 | 360±0.01 | (°) |
9 | 步进电机分辨率 | 0.0025 | (°) |
10 | 步进电机定位精度 | 0.01 | mm |
11 | 载体盘直径 | 220 | mm |
12 | 真空吸盘直径 | 200(8英寸) | mm |
13 | 锯片外径 | 划锯片86 切割片100 | mm |
14 | 锯片内孔 | 12.7 | mm |
15 | 电源电压 | 220 | V |
2、金刚石划锯片(φ86×φ70×0.15)
3、边缘烧结金刚石锯片(φ100×φ12.7×0.4、φ150×φ12.7×0.5)
4、TW-1型无油真空泵
5、划锯片夹具垫