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金属靶材有:锆 Zr、铬 Cr、钛 Ti、铝 Al、锡 Sn、锑 Sb、硼 B、铜 Cu、石墨 C、硅 Si、钽 Ta、锌 Zn、镁 Mg、铌 Nb、钼 Mo、镍 Ni、不锈钢靶材等…
合金靶材有: 钛铝Ti-Al、钛锆Ti-Zr、铝硅Al-Si、铬硅Cr-Si、锌铝Zn-Al 等…
陶瓷靶材有:单晶硅、多晶硅、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、氧化镁靶MgO、三氧化二钇靶Y2O3、氧化锌铝靶ZAO、氧化铝靶AlO、五氧化二钽靶Ta2O5、五氧化二铌靶Nb2O5等……
光学蒸发材料有:一氧化硅 SiO、二氧化硅SiO2、一氧化钛 TiO、二氧化钛 TiO2、三氧化二钛Ti2O3、三氧化二钇Y2O3、三氧化二铝 Al2O3、二氧化锆 ZrO2、二氧化铪 HfO2、五氧化二钽 Ta2O5、氟化镁MgF2、硫化锌ZnS等……
纳米金属粉体及磨料有:钛、镍、铬、铝、钨、锡、锑、锌、硅、锰、硫、磷、氧化铝、氧化硅、氧化钛、氧化锌、氧化钇等……
以上靶材是通过粉末冶金工艺和高真空浇铸工艺制作均具有纯度高,微观组织优异及利用率高等特点,靶型有:管状,片状,粉状,圆盘形,平面矩形,环形,规格和成分还可以根据用户的具体要求定做,同时科航公司还提供相关技术咨询服务。