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主动防震平台：主要应用在高精密光刻机；桌面型防震平台：主要应用在单台仪器，如3维形貌测试；大负载型防震平台：标准负载可以达到13吨，适合针对大型设备的隔振；高精密型防震平台：水平、垂直方向的固有平率都很小，适合精密的光学实验，如全息光学实验；实验室型防震平台：风格能和办公室的匹配，方便移动；

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