在微纳米制造领域，高粘度光刻胶作为精密图形的关键转移媒介，其纯净度直接关系到*终产品的性能与良率。针对这一挑战，我们精心设计了基于液体颗粒计数器的检测方案，旨在精准捕捉并量化光刻胶中的微小颗粒，确保生产过程的无瑕衔接。

1、方案背景：

随着半导体工艺步入纳米时代，对光刻胶的洁净度要求达到了前所未有的高度。传统检测方法在面对高粘度、低流动性的光刻胶时，往往力不从心，难以有效分离并计数微小杂质。因此，开发一种高效、准确的检测方案显得尤为迫切。

2、检测仪器亮点：

本方案采用的液体颗粒计数器，集成了高精度激光散射技术与智能算法，能够轻松穿透高粘度介质，精准捕捉直径小至亚微米的颗粒。其独特的流路设计与温控系统，确保了检测过程中光刻胶的稳定流动与均匀分散，有效避免了因粘度差异引起的测量误差。

3、检测步骤详解：

1）样品预处理：采用特制稀释剂与搅拌装置，确保光刻胶均匀稀释至适宜粘度，同时减少气泡生成。

2）自动进样：通过精密泵送系统，将处理后的光刻胶样品平稳送入计数器检测室。

3）实时检测：激光束在样品中穿梭，散射光信号被高灵敏度探测器捕捉，转化为颗粒大小与数量的精确数据。

4）数据分析：智能软件即时处理数据，生成直观报告，包括颗粒分布图、浓度趋势等关键信息。

4、数据结果解读：

检测结果不仅反映了光刻胶的即时洁净状态，还为工艺优化提供了宝贵依据。通过持续监测，可及时发现并纠正潜在污染源，保障生产线的稳定运行。

5、注意事项：

-确保检测环境无尘、恒温，以减少外界干扰。

-样品处理时需严格控制稀释比例与搅拌时间，避免引入新污染源。

-定期校准仪器，保证测量结果的准确性与可靠性。

原创作者：普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控