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制备电子工业超纯水的工艺流程：
◇ 采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
◇ 采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
◇ 采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
电子工业超纯水设备特点：
电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备性。
电子工业超纯水的应用领域：
★ 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；
★ 超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；
★ 实验室和中试车间用超纯水；
★ 汽车、家电表面抛光处理；
★ 光电子产品；
★ 其他高科技精微产品；
工业超纯水系统，目前*常用的超纯水工艺：
① 采用反渗透加去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳
滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→一级混床→二级精混床→微滤器→用水点
② 采用去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→
树脂软化器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→用水点
③ 采用反渗透加电去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳
过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱→增压泵→电去离子装置（EDI）→微滤器→用水点
进水渗数：
源水：城市自来水、地下水（需要检测水样）、进水压力＞0.3MPa，进水电导
＜800us/cm；进水电导率＞800us/cm时，建议使用双级反渗透。
※ 设计参数：100升/天到50吨每天
※ 出水标准：国家一级或二级电子用超纯水标准
