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供应日本精工膜厚仪SFT-110
点击次数:807发布时间:2012/7/11 14:07:47
更新日期:2019/4/9 10:59:25
所 在 地:其它
产品型号:
优质供应
详细内容
X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110
对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理,可产品的功能及品质,降低成本。精工从1971年推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来,已经累计销售6000多台,得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。
为了适应日益提高的镀层厚度测量需求,精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能,仅需把样品放置到样品台上,就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此,无需进行以往的手动逐次对焦的操作,大大提高了样品测量的操作性。
近年来,随着检测零件的微小化,对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且,配备有新开发的薄膜FP法软件,即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量,可对应更广泛的应用需求。
测量元素:原子序号22(Ti)~83(Bi)
X射线源:空冷式小型X射线管
检测器:比例计数管
准直器:○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2种
样品观察:CCD摄像头(可进行广域观察)
对焦:激光点(自动)
滤波器:一次滤波器: 自动切换
样品台(台式尺寸): 500(W) x400(D) x 150(H)mm
(移动量):X:250mm, Y:200mm
操作部:电脑、19寸液晶
测量软件:薄膜FP法 (*多5层膜、10种元素)、标准曲线法
数据处理:配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全机构:样品门连锁、样品的防冲撞功能、仪器诊断功能
特点
即放即测!
通过自动定位功能,放置样品后仅需几秒,便能自动对准观察样品焦点。
10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量!
以的设计实现微小区域下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度地提高膜厚测量的精度。
无标样测量!
将薄膜FP软件进一步扩充,即使没有厚度标准物质也能进行高精度的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。
通过广域观察系统更方便选择测量位置!
通过广域观察系统,能够从画面上的样品整体图(250×200mm)中方便地指定测量位置