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日本电子扫描电镜JSM-6510维护
点击次数:761发布时间:2013/1/22 8:50:02
更新日期:2019/4/9 10:54:44
所 在 地:其它
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详细内容
在日本扫描电镜应用中,很多集中在器件和方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。
电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。
日本电子SEM-6510对于固体材料的研究应用非常广泛,没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料全面特征的描述,扫描电镜是至关重要的。
保证分辨率 | 3.0nm(30kV) |
放大倍数 | 5至300,000x |
加速电压 | 0.5kV至30kV |
电子枪 | 工厂预对中灯丝 |
聚光镜 | 变焦聚光镜 |
物镜 | 锥形物镜 |
样品台 | 全对中样品台 |
X-Y | 80mm-40mm |
Z | 5mm至48mm |
旋转 | 360° |
倾斜 | -10°至+90° |
排气系统 | DPx1,RPx1 |
排气系统 | DPx1,RPx2 |
JSM-6510分析型扫描电子显微镜,与日本电子公司的元素分析仪(EDS),统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制,操作员只用一只鼠标,就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。
操作窗口
直观的操作界面的设计,简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
标准的全对中样品台,能收录三维照片
3D Sight(选配件),能够进行平面测量和高度测量,实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析,配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析(EDS)。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。
维护简便
工厂预置中心灯丝,十分便于更换。因此,可长期保持稳定的高性能。此外,操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件,体现了操作稳定,维护简便的特色。
扫描电子显微镜SEM-6510*基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色,应用于生物学、植物学、地质学、冶金学等领域。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如:花粉颗粒,硅藻和昆虫。另一方面,它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。
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