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台式扫描电镜参数:
分辨率:7nm@20kv SEI
电子枪:发叉式钨丝阴极, 预对中灯丝
放大倍数:X20 to X80,000
加速电压:0.5kV to 20kV 艾先生 --5334 Q -6154
探测器:SE Detector,EDS/BSE(可选)
真空系统:全自动涡轮分子泵系统 达高真空时间小于3分钟
样品台:X axis:35mm(马达驱动)
Y axis:35mm(马达驱动)
Z axis:5 to 60mm
R axis:360度
样品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter)
视频采集分辨率(Pixel):选区(320x240),TV(640x480),Slow(800x600),
Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840)
帧频:选区 (Max.30 frames/sec),
TV (Max.10 frames/sec)
Slow (Max.2 frames/sec)
自动功能:Start,Focus,Filament,Brightness/Contrast
计算机操作系统:Windows 7
操作方式:键盘/鼠标,全触摸屏操作(可选)
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm
重量:80kg