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Nikon L200 (表面落射)
Nikon L200D (表面落射/ 底部透射)
◆倍率:25×-1500× (明暗场可以选择)
◆专配L2-S8 8x8 移动载物台 (移动范围200X200mm)
◆8寸晶片 (可加装专业的Wafer holder )
◆可以选配专业偏光(Polarizer)
◆可以选配微分干涉棱镜 (DIC)
◆可以附加NIKON 专业数码相机及CCD影像扩展
◆可以附加专业金相测量软件实现电脑测量
◆可以选配专业半导体8寸晶片自动装载机配合使用,提高测试检查的自动化。 Nikon 公司提供型号为:Wafer Loader NWL-860 8寸晶片自动装载机 (具体规格参数请来电垂询)