OAI659紫外光能量计——适用于所有晶圆步进机
在过去的45年里，OAI直是紫外光和能量测量仪器的创造者，用于半导体、EMS、圆封装和晶圆凸点等行业的光刻工艺的可靠精确校准控制。新型号659是种新的紫外曝光分析仪，门设计用于包括高强度晶圆步进机在内的所有晶片步进机。该仪器的平均曝光读数高达400，具有以太网和USB接口，可下载记录的测量值，强度范围高达7500MW/cm2。探针的波长有365nm、400nm、420nm和436nm可选。OAI拥有个完整的认证校准实验室，以维护我们仪表的性能、质量和可靠性。659型仪表可追溯至NIST标准。
仪器规格
用户界面：触摸屏
计算机接口：可选以太网和USB下载记录
测量
电源：电池采用充电保护的3.7V锂离子充电
充电器电源：100-240 VAC
显示设置：2个屏幕
1.设置屏幕：以太网地址、日期和时间
2.运行屏幕：波长、强度、时间、剂量、探针温度、探针类型、偏差百分比、序列号、校准到期日、电池状态、探针序列号和充电器状态。
内存存储：高达400条读取
强度范围：高达7500mw/cm2
强度分辨率：0.01mW/cm2
剂量范围：高达1000 J/cm3
剂量分辨率：0.01mJ/cm3
时间范围：高达9999
时间分辨率：0.0001，*小剂量暴露25米
尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量：3.5磅
工作环境：15–40度
符合：ROHS2和CE（EMC和安全）
探头规格
选项：非补偿温度探头
探头检测器：硅光电二管
可用波长（nm）365、400、420、436
过滤器：多层吸收/介质
强度范围：高达7500MW/cm2
互换性：任何型号的659探针都可以与659仪表起使用
符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

注：报价仅为主机报价，探头可从上面4个中（365、400、420、436nm）选择并单独购买，还需提供步进机型号。
      6XX系列替换了之的3XX和4XX系列，3XX和4XX系列于2020年12月停产。